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防靜電臺(tái)墊和地墊的防靜電測(cè)試方法相同，主要測(cè)試表面電阻和接地系統(tǒng)電阻。
隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)工作臺(tái)墊 / 地墊的每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于 3個(gè)測(cè)試點(diǎn)，取平均值。
測(cè)試方法：
按照表面電阻測(cè)試方法測(cè)試臺(tái)墊、地墊表面電阻；
按圖 1-a 所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻；
按圖 1-b 所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻 / 接地電阻。
圖1 工作臺(tái)面防靜電測(cè)試
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